400-677-0098
臥式化學氣相沉積爐(SiC、BN)
臥式化學氣相沉積爐(SiC、BN)
產品描述:
臥式化學氣相沉積爐(SiC、BN)用于硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
應用范圍:
炭炭復合材料SiC涂層、石墨制品SiC涂層、纖維SiC、BN、ZrC涂層等

臥式化學氣相沉積爐(SiC、BN)技術特征

采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍小;

采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理;

采用最新設計防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率極低。

臥式化學氣相沉積爐(SiC、BN)產品規格

參數\型號HCVD-060609-SICHCVD-101015-SICVCVD-121220-SICHCVD-151530-SICHCVD-252035-SIC
工作區尺寸W×H×L(mm) 600×600×900 1000×1000×1500 1200×1200×2000 1500×1500×30002500×2000×3500
最高溫度(℃) 1500 1500 1500 15001500
溫度均勻性(℃) ±7.5 ±7.5 ±10 ±10±10
極限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100
壓升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67

以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

臥式化學氣相沉積爐(SiC、BN)配置選擇

爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降;旋轉移開/平行移開(大尺寸爐門);手動鎖緊/自動縮圈鎖緊

爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC

加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統:體積/質量流量計/手動閥/自動閥/進口/國產

熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號

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